Vim li cas cov txheej txheem xa roj UHP thiaj tseem ceeb ua luaj?
Hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor—cov txheej txheem xws li etching, CVD, ion implantation, thiab lithography—cov pa roj txheej txheem yuav tsum yog ultra-high purity, feem ntau yog 99.9999% (6N) lossis txawm tias 99.99999% (7N). Txawm tias cov pa phem me me ntawm ppb (qhov chaw ib billion) lossis ppt (qhov chaw ib trillion)—xws li dej noo lossis oxygen—tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis zoo xws li lub qhov rooj oxide thinning, cov hlau voids, lossis luv luv circuits ntawm wafers, tej zaum yuav pov tseg tag nrho cov khoom.
Yog li ntawd, lub hom phiaj ntawm lub tshuab xa roj UHP yog thauj cov roj los ntawm qhov chaw mus rau cov cuab yeej ua haujlwm yam tsis muaj kev puas tsuaj ntawm qhov huv, tiv thaiv ob qho tib si kev ua qias tuaj thiab kev xau ntawm txhua qhov chaw.
Vim li cas EP Tubing thiaj li ua lub hauv paus ntawm UHP Systems?
Cov kav dej EP (Electropolished) yog ua los ntawm cov hlau tsis xeb uas dhau los ntawm kev siv hluav taws xob polishing, ua rau sab hauv zoo li daim iav. Qhov no ua rau nws yog qhov tseem ceeb "artery" rau kev faib roj UHP.
Kev Huv Si Zoo Tshaj Plaws - Kev Tiv Thaiv ntawm Qhov Chaw
Kev ua EP txo qhov roughness ntawm qhov chaw sab hauv (Ra) mus rau 0.13 µm - 0.25 µm lossis qis dua. Qhov tiav du heev no tshem tawm cov qhov me me thiab qhov chaw nqus, tsis muaj chaw rau cov khoom me me, cov hlau ions, lossis cov dej noo lo rau.
Kev Tiv Thaiv Kev Xeb Zoo Dua - Kev Khaws Cia Kev Huv Si
Cov kauj ruam electropolishing tshem tawm cov khoom tsis huv ntawm qhov chaw thiab tsim cov txheej txheem passive uas muaj chrome-oxide ntau, txhim kho kev tiv thaiv cov pa roj corrosive xws li Cl₂, CF₄, thiab HCl. Qhov no tiv thaiv kev xeb ntawm phab ntsa yeeb nkab uas tuaj yeem tsim cov khoom me me lossis cov pa roj tawm.
Kev Ua Haujlwm Zoo Dua & Kev Ntxuav Sai Dua
Phab ntsa sab hauv du thiab txo qhov tsis kam ntawm kev ntws thiab ua kom lub kaw lus ntxuav thiab hloov roj sai dua. Hauv cov txheej txheem uas xav tau kev hloov roj sai, qhov no ua rau lub sijhawm voj voog luv dua thiab ua rau muaj kev ua haujlwm ntau dua.
Cov Khoom Siv Zoo Tshaj Plaws - Tus Qauv "Crown"
Cov yeeb nkab EP zoo yog tsim los ntawm 316L VIM-VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting) stainless hlau. Cov txheej txheem yaj ob npaug no ua kom cov hlau hauv paus huv si, uas yog qhov yuav tsum tau ua kom tiav EP qhov kev ua tau zoo tshaj plaws.
Cov Xwm Txheej Tseem Ceeb ntawm Daim Ntawv Thov
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Cov Txheej Txheem Tseem Ceeb- Kev xa cov pa roj reactive purity rau etching, CVD, ion implantation, thiab lithography.
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Cov Roj Tshwj Xeeb– Kev siv cov pa roj uas yooj yim hlawv, lom, lossis lwj xws li SiH₄, PH₃, Cl₂, thiab BCl₃ kom muaj kev nyab xeeb. Rau cov pa roj uas muaj kev phom sij heev, feem ntau siv cov raj EP uas muaj ob txheej (lub raj sab hauv rau roj, lub tsho sab nraud tshem tawm lossis ntxuav nrog nitrogen rau kev saib xyuas qhov xau).
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Cov Khoom Siv Tseem Ceeb- Siv rau hauv cov vaj huam sib luag faib roj (VMBs), cov txee roj, thiab cov cuab yeej ua haujlwm qhov twg yuav tsum tau ntxuav sab hauv kom huv si.
Tshaj Lij Lub Raj: Lwm Yam Tseem Ceeb Rau Lub Tshuab UHP Tag Nrho
Yuav kom ntseeg tau tias muaj kev ncaj ncees tag nrho, lub kaw lus yuav tsum suav nrog:
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Kev Siv Lub Vuam Orbital Tsis Siv Neeg Tag Nrho- Ua tiav hauv ISO Class 5 (Class 100) lossis chav huv zoo dua, tshem tawm cov kev sib txawv ntawm kev vuam tes thiab kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj.
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Cov Khoom Siv Rau Txhua Lub Ntsej Muag Hlau- Xws li cov hom VCR® lossis W-Seal, uas siv cov gaskets hlau rau kev ua haujlwm tsis muaj qhov xau.
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Kev Ntxuav thiab Ntim Khoom Zoo- Cov raj EP feem ntau raug ntxuav nrog dej huv siab, ziab, thiab ntxuav nrog nitrogen ua ntej muab ob lub hnab ntim rau hauv chav huv kom khaws cia lawv qhov "raws li xa khoom" kom txog thaum teeb tsa.
EP tubing tsis yog ib lub yeeb nkab xwb—nws yog thawj kab tiv thaiv hauv kev xa roj semiconductor. Nws qhov chaw du heev, tiv taus corrosion zoo dua, thiab cov khoom siv zoo tshaj plaws purity cuam tshuam ncaj qha rau wafer yield, kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv, thiab tag nrho cov txiaj ntsig zoo. Hauv lub ntiaj teb ntawm sub-5nm nodes thiab cov peev nyiaj tsis zoo, EP tubing tsis yog xaiv tau—nws yog lub hauv paus.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-05-2026