Cov dej noo thiab cov khoom me me tawm hauv huab cua: Yuav ua li cas qhov tiav ntawm qhov chaw cuam tshuam rau qhov huv ntawm cov pa roj

Hauv cov txheej txheem roj uas muaj cov khoom siv huv siab niaj hnub no, qhov sib txawv ntawm cov txheej txheem uas muaj txiaj ntsig thiab qhov ua tsis tiav uas kim heev feem ntau yog qhov koj tsis pom. Cov dej noo thiab cov khoom me me - ntsuas hauv cov feem ib billion lossis txawm tias cov feem ib trillion - tuaj yeem ua rau cov pa roj paug ntsiag to, ua rau cov khoom tsis zoo, thiab kaw cov kab ntau lawm semiconductor. Thaum cov khoom siv lim dej, kev ntxuav, thiab cov khoom siv tswj kev ntws tau txais kev saib xyuas feem ntau, ib qho ntawm cov kev cuam tshuam tseem ceeb tshaj plaws rau kev huv ntawm cov roj yog qhov chaw ntawm cov yeeb nkab uas nqa cov roj. Qhov chaw ntawd tiav li cas txiav txim siab seb nws tuaj yeem nqus tau cov dej noo ntau npaum li cas, nws tuaj yeem ntes tau pes tsawg cov khoom me me, thiab nws yuav tawm ntau npaum li cas hauv lub neej ntawm lub kaw lus. Phau ntawv qhia no piav qhia txog cov txheej txheem ntawm cov dej noo thiab cov khoom me me tawm, ntsuas qhov cuam tshuam ntawm qhov tiav ntawm qhov chaw rau kev huv ntawm cov roj, thiab piav qhia txog cov tswv yim tiav thiab kev ua haujlwm siv los xa cov kev ua tau zoo ultra-high purity (UHP).

Outgassing Yog Dab Tsi thiab Vim Li Cas Nws Thiaj Tseem Ceeb?

Kev tso pa tawm yog qhov maj mam tso tawm cov pa roj thiab cov dej noo uas tau nqus lossis nqus rau ntawm qhov chaw ntawm cov khoom siv lossis yaj hauv nws cov txheej ze ntawm qhov chaw. Qhov kev tso tawm no tshwm sim thaum lub siab nyob ib puag ncig poob qis, kub nce siab, lossis cov pa roj ntxuav tawm hla qhov chaw - raws nraim li cov xwm txheej pom muaj nyob rau hauv cov txheej txheem xa roj, cov chav nqus tsev, thiab cov cuab yeej siv tshuaj ntsuam xyuas. Hauv cov txheej txheem hlau tsis xeb, cov pa dej yog qhov feem ntau tshaj plaws ntawm cov pa tawm, ua raws li cov hydrocarbons thiab cov txheej txheem seem.

Txawm tias nyob rau ntawm qhov concentration uas zoo li tsis tseem ceeb, cov dej noo tuaj yeem cuam tshuam nrog cov pa roj tshwj xeeb, cov khoom me me nucleate, cuav cov ntawv nyeem analytical, thiab cov khoom lom rhiab heev xws li cov tswj hwm huab hwm coj, cov li qub, thiab cov chav tso dej. Raws li cov qauv geometries ntawm cov khoom siv me me thiab cov qhov rai ua haujlwm nruj dua, kev lag luam semiconductor tau thawb cov kev cai huv ntawm cov roj los ntawm qhov chaw ib lab (ppm) mus rau qhov chaw ib billion (ppb) thiab qhov chaw ib trillion (ppt). Ntawm cov theem no, qhov tiav ntawm cov raj tsis yog ib qho me me ntxiv lawm - nws yog qhov tseem ceeb uas yuav tsum tau tsim, txheeb xyuas, thiab tswj hwm los ntawm lub tshuab zeb mus rau lub cuab yeej.

Cov Txheej Txheem Tseem Ceeb

Thaj Chaw Nto Uas Nce Ntxiv

Ib qho chaw ntxhib muaj thaj chaw me me loj dua li qhov du, thiab thaj chaw ntau dua txhais tau tias muaj ntau qhov chaw uas cov dej noo tuaj yeem lo rau. Kev sib raug zoo tsis yog linear: qhov ntxhib hauv daim ntawv ntawm cov ncov, hav, thiab cov kauj ruam ciam teb ntawm cov noob ua rau thaj chaw zoo rau kev nqus tau. Kev txo qhov ntxhib ntawm qhov chaw - ntsuas ua Ra, qhov nruab nrab ntawm qhov sib txawv ntawm qhov profile ntawm qhov chaw - los ntawm 0.8 µm txog 0.25 µm tuaj yeem tshem tawm ntau qhov chaw nqus, vim tias cov qhov tob tshaj plaws, uas tuav dej tawv tshaj plaws, raug tshem tawm tag nrho. Qhov no yog vim li cas qhov tiav ntawm qhov chaw feem ntau piav qhia tias yog lub pas dej zais cia ntawm cov dej noo uas txiav txim siab ntev npaum li cas lub kaw lus yuav tsum tau ntxuav ua ntej nws mus txog qhov huv si.

Kev nqus dej noo thiab kev tawm pa tawm

Cov dej noo ua rau cov hlau sib txuas ruaj khov, tshwj xeeb tshaj yog nrog cov txheej oxide uas tsim los ntawm cov hlau tsis xeb. Ntawm qhov chaw uas muaj chromium ntau dhau, cov dej molecules yuav nqus ncaj qha rau cov oxide, tom qab ntawd sib sau ua cov txheej uas nqus tau. Thaum lub raj raug nqus rau hauv lub tshuab nqus tsev lossis cov pa roj ntws, cov txheej no maj mam ploj mus: cov txheej sab nraud uas tsis sib txuas yuav tso tawm ua ntej, thaum cov dej uas nqus tau yuav nyob twj ywm thiab xav tau lub zog, feem ntau yog cua sov, kom tso tawm. Qhov tshwm sim tiag tiag yog tias lub raj tshiab uas tau teeb tsa lossis ua tiav tsis zoo yuav nqus cov dej noo mus rau hauv cov pa roj rau ntau teev lossis txawm tias hnub, ua rau lub sijhawm ntxuav ntev dua thiab ua kom huv si qis dua qhov tau teev tseg.

Kev ntes cov khoom me me

Cov qhov me me, cov qhov av, thiab cov voj voog ntawm cov chaw ntxhib ua rau cov khoom me me nyob. Thaum lub sijhawm ua haujlwm ib txwm, cov khoom me me no yuav raug kaw, tab sis kev hloov pauv ntawm cua sov, kev co, lossis kev hloov pauv sai sai ntawm kev coj mus los thiab qhov ceev tuaj yeem ua rau lawv tawm mus, ua rau muaj kev sib kis mus rau hauv cov pa roj. Hauv kev tsim khoom semiconductor, ib qho khoom me me tuaj yeem tsim qhov tsis zoo ntawm lub wafer, thiab cov khoom me me uas nyob hauv cov ceg tuag lossis cov qhov valve nyuaj heev rau tshem tawm thaum lub kaw lus ua haujlwm. Cov chaw du thiab tsis muaj qhov tawg tsis yog tsuas yog txo cov khoom me me xwb, tab sis lawv kuj ua rau cov chaw uas tseem yooj yim dua los ntxuav thiab txheeb xyuas.

Qhov Cuam Tshuam rau Kev Huv Huv ntawm Roj

Kev xaiv ntawm qhov chaw tiav muaj qhov cuam tshuam ncaj qha, ntsuas tau rau qhov huv ntawm cov pa roj, lub sijhawm ntxuav, thiab kev ruaj khov mus sij hawm ntev. Cov chaw ntxhib hauv Ra 0.5–0.8 µm ntau yam - ib txwm muaj ntawm cov raj txias uas tsis tau ua kom zoo - khaws cov dej noo thiab cov khoom me me ntau dua. Lawv tawm cov pa roj ntau dua, xav tau lub sijhawm ntxuav ntev dua, thiab feem ntau tsuas yog tsim rau cov ntawv thov ppm-qib qhov twg qee zaum muaj kev sib kis. Cov chaw du hauv Ra ≤ 0.25 µm ntau yam, feem ntau tsim los ntawm electropolishing (EP), coj tus cwj pwm txawv heev: lawv muab cov chaw adsorption tsawg dua, qis dua outgassing, thiab tsawg dua cov khoom me me. Cov nyhuv tau ntsuas hauv cov kev tshawb fawb luam tawm; ib qho kev tshawb nrhiav ntawm titanium qhia tau hais tias 35% txo qis hauv qhov roughness ntawm qhov chaw ua rau 30% txo qis hauv cov dej tawm, thiab cov qauv sib piv tau sau tseg rau cov hlau tsis xeb. Rau ppb- thiab ppt-qib ultra-high purity systems, cov chaw electropolished tsis yog khoom kim heev - lawv yog qhov yuav tsum tau ua.

Yuav Ua Li Cas Qhov Kev Ua Kom Tiav Ntawm Qhov Chaw Cuam Tshuam Rau Kev Ua Haujlwm Ntawm Lub System

Qhov chaw tiav muaj feem cuam tshuam ntau dua li qhov tso pa tawm. Nws cuam tshuam rau lub sijhawm ntxuav (cov chaw du thiab ncav cuag cov dej noo sai dua), cov khoom me me ploj thaum ntws, tiv taus xeb (cov chaw EP uas muaj chromium-enriched tiv taus kev rov ua qias tuaj), thiab kev ntxuav tau (cov chaw du thiab tso cov tshuaj ntxuav tawm thiab yaug dej tag). Nws kuj cuam tshuam rau kev vuam tau: qhov chaw tiav huv thiab tswj tau ua rau muaj qhov zoo ntawm kev vuam orbital, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev sib xyaw thiab cov xim kub uas tuaj yeem ua rau muaj kev ua qias tuaj yav tom ntej.

Cov Tswv Yim Txo Kev Txo Nqi

Kev ua tiav thiab tswj tau qhov huv ntawm cov pa roj yuav tsum muaj ntau txoj hauv kev sib xyaw ua ke, txhua txoj hauv kev daws teeb meem sib txawv ntawm kev ua qias tuaj.

Kev Kho Mob Nto

Kev siv hluav taws xob (Electropolishing - EP) yog tus qauv kub rau cov txheej txheem UHP. Cov txheej txheem no tshem tawm ib txheej hlau nyias nyias, tswj tau los ntawm qhov chaw, ua kom cov me me-peaks sib npaug, qhib thiab tshem tawm cov kab nrib pleb, thiab ua kom cov chromium hauv cov zaj duab xis passive nplua nuj - uas ua rau qhov chaw tiv taus corrosion ntau dua thiab tsis tshua khaws cov dej noo. Thaum teev cov tsheb ciav hlau roj UHP, xaivelectropolished seamless rajRau cov khoom ntub thiab phim cov khoom sib dhos kom zoo ib yam; kev sib xyaw ua ke hauv ib lub kaw lus ua rau tsis huv ntawm tag nrho cov khoom sib dhos. Rau cov ntawv thov uas tsis tas yuav siv zog ntau, acid pickling thiab passivation (AP) thiab bright annealing (BA) muab qhov sib npaug zoo ntawm kev huv thiab tus nqi.

Kev Ntxuav thiab Kev Tswj

Tsuas yog ua kom tiav qhov chaw xwb tsis txaus - kev ntxuav kom huv si yuav tshem tawm cov khoom seem, roj, thiab cov dej noo uas tshuav los ntawm cov kauj ruam ua ntej. Cov txheej txheem ib txwm muaj xws li alkaline degreasing, ultrasonic cleaning, thiab deionized water rinsing, ua raws li kev ziab hauv ib puag ncig huv si thiab ntim rau hauv lub hnab kaw, ob lub hnab tiv thaiv. Kev tswj hwm kev ua haujlwm tseem ceeb ib yam nkaus: hnab looj tes, cov cuab yeej huv si, thiab qhov chaw cia khoom uas muaj hau tiv thaiv kev rov ua qias tuaj ntawm lub tshuab zeb thiab kev teeb tsa zaum kawg.

Ci hauv qhov cub

Cov khoom ua kom sov hauv qab lub tshuab nqus tsev lossis cov pa roj purge uas ntws tawm ua rau cov pa dej tawm sai dua, tshem tawm cov dej noo uas yuav tawm mus rau hauv cov txheej txheem thaum lub sijhawm ua haujlwm. Kev ci tawm yog qhov tseem ceeb rau cov li qub, cov khoom sib txuas, thiab cov pob qij txha vuam, qhov twg geometry thiab thaj chaw cuam tshuam los ntawm cua sov tsim cov chaw khaws dej noo zais. Ua ke nrog kev ntxuav inert, kev ci tawm tuaj yeem txo lub sijhawm uas lub kaw lus tshiab xav tau kom ua tiav qhov huv huv los ntawm ntau hnub mus rau ntau teev.

Kev ntxuav

Kev ntws cov pa roj inert, feem ntau yog nitrogen lossis argon, hla lub kaw lus nqa cov pa phem tawm thiab tiv thaiv cov dej noo kom tsis txhob rov nqus tau. Kev ntxuav yog ob qho tib si ib kauj ruam ua haujlwm thiab kev coj ua tas mus li: cov kab ke tsim zoo khaws cov dej ntws qis tas mus li ntawm cov ntu standby thiab siv cov pa ntxuav siab kom cov dej ntxuav nws tus kheej tsis dhau los ua qhov chaw ua qias tuaj.

Kev Xaiv Khoom Siv

Siv cov khoom siv uas tsis muaj pa phem ua rau cov khoom sab hauv tsis muaj kuab paug ua ntej lawv muaj. Rau kev pabcuam UHP, 316L stainless hlau tsim los ntawm VIM-VAR (vacuum induction melting ua raws li vacuum arc remelting) yog tus qauv kev lag luam: ob chav vacuum melting txo cov khoom tsis yog hlau thiab tsim cov qauv microstructure uas sib npaug, sib xws uas yooj yim dua los ua kom tiav huv si thiab tsis tshua muaj pa phem. Cov khoom siv qib qis dua nrog cov khoom suav nrog tuaj yeem kov yeej txawm tias qhov chaw zoo tshaj plaws, vim tias cov khoom suav nrog ua qhov chaw pib rau pitting thiab tsim cov khoom me me.

Xaiv Qhov Chaw Zoo Rau Koj Daim Ntawv Thov

Cov lag luam thiab cov txheej txheem sib txawv muaj cov kev xav tau kev huv sib txawv, thiab qhov tiav zoo sib npaug ntawm kev huv nrog rau tus nqi thiab kev muaj. Rau cov ntawv thov uas qhov kev huv ntawm ppb txaus - piv txwv li, cov kab ua haujlwm huv siab thiab cov chaw muab tshuaj - ibLub raj xa dej ci ntsa iab (BA) seamlessmuab kev sib npaug zoo heev ntawm qhov zoo ntawm qhov chaw, kev tswj qhov ntev, thiab tus nqi. Rau qhov kev pabcuam uas xav tau tshaj plaws, cov khoom siv electropolished tau teev tseg yam tsis muaj kev cuam tshuam.

• Kev tsim cov khoom siv semiconductor thiab cov vaj huam sib luag tiaj tus: EP tiav, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, ob lub hnab thiab tau ntawv pov thawj ua ke. Kev tso pa tawm thiab cov peev nyiaj me me tau txhais hauv ppb-ppt thiab siv nrog cov lus qhia ntawm qhov chaw thiab suav cov khoom me me.
• Cov pa roj tshwj xeeb thiab cov pa roj hluav taws xob: EP lossis cov raj BA qib siab nrog kev tswj hwm sab hauv; cov txee roj thiab cov vaj huam sib luag faib khoom xav tau qhov zoo sib xws los ntawm txhua qhov khoom.
• Tshuaj thiab biotech: Cov nplaim EP lossis BA uas yooj yim ntxuav thiab lees paub, ua tau raws li ASME BPE cov lus qhia tiav ntawm qhov chaw thiab txhawb nqa CIP/SIP voj voog.
• Cov cuab yeej siv los ntsuas thiab roj chromatography:lub raj ntsuasnrog rau kev tswj hwm sab hauv txoj kab uas hla thiab kev kam rau siab qhov ntev, vim tias qhov ruaj khov ntawm lub teeb liab nyob ntawm cov roj nqa khoom uas rov ua dua tau, tsis muaj kuab paug.
• Cov txheej txheem dav dav thiab cov kav dej lag luam: Cov tiav AP lossis BA muab kev huv si txaus rau kev pabcuam ppm ntawm tus nqi qis dua.

Cov Qauv Kev Lag Luam thiab Cov Lus Qhia Tshwj Xeeb

Kev qhia meej txog qhov chaw tiav kom meej yuav tsum muaj ib hom lus sib xws. Ra (kev suav lej nruab nrab ntawm qhov roughness) yog qhov ntsuas uas siv dav tshaj plaws, tab sis cov ntawv thov tseem ceeb kuj siv Rz, Rmax, thiab suav qhov siab tshaj plaws, nrog rau cov qauv ntsuas qhov roughness ntawm qhov chaw xws li SEMI F19. Rau cov kav hlau tsis xeb, cov qauv siv feem ntau suav nrog ASTM A269 thiab A270 rau cov kav hlau tsis muaj qhov thiab huv, ASME BPE rau cov khoom siv bioprocessing, thiab SEMI cov qauv rau cov ntawv thov semiconductor. Thaum ib qho kev qhia tshwj xeeb xav tau EP zoo, nws yuav tsum hais txog tus nqi Ra, txoj kev ntsuas, thiab cov qauv lees txais - piv txwv li, "Ra ≤ 0.25 µm, ntsuas los ntawm stylus profilometry ntawm qhov chaw sab hauv, 100% tshuaj xyuas thiab ntawv pov thawj."

Cov Lus Nug Feem Ntau

Q: Tus nqi Ra twg suav tias yog UHP qib?

A: Cov txheej txheem purity siab heev feem ntau qhia Ra ≤ 0.25 µm, thiab ntau lub semiconductor fabs xav tau Ra ≤ 0.13 µm ntawm cov nplaim electropolished. Qhov yuav tsum tau ua kom meej nyob ntawm cov txheej txheem thiab chav kawm purity uas tau xa tuaj.

Q: Puas yog electropolishing tshem tawm cov khoom me me?

A: Electropolishing tshem tawm ib txheej hlau tswj, uas tshem tawm cov micro-peaks, laps, thiab crevices qhov twg cov khoom me me thiab cov dej noo zais. Nws tsis hloov kev ntxuav: ib qho electropolished zoo yuav tsum tau ntxuav, yaug, thiab ntim rau hauv chav huv.

Q: Qhov chaw tiav li cas cuam tshuam rau lub sijhawm ntxuav?

A: Cov chaw ntxhib dua tuav cov dej noo ntau dua thiab tso nws qeeb dua, yog li kev ua kom huv si siv sijhawm ntev dua. Cov chaw du thiab electropolished tuaj yeem txo lub sijhawm ntxuav los ntawm ob peb teev lossis txawm tias hnub, uas txhais tau tias ncaj qha rau kev pib ua haujlwm sai dua thiab lub sijhawm tsis ua haujlwm tsawg dua.

Q: Lub raj xa dej ci ntsa iab (BA) puas txaus rau cov tshuab roj?

A: BA raj nrog Ra nyob ib ncig ntawm 0.25–0.4 µm yog tsim rau ntau yam kev siv purity siab thiab tshuaj. Rau ppb-ppt semiconductor thiab kev pabcuam roj tshwj xeeb, electropolishing feem ntau yog qhov yuav tsum tau ua.

Q: Cov khoom siv twg zoo tshaj plaws rau cov tshuab roj uas muaj purity siab heev?

A: 316L stainless hlau uas tsim los ntawm VIM-VAR melting yog qhov kev xaiv txheem rau UHP cov tshuab roj vim nws cov ntsiab lus tsawg thiab cov qauv microstructure huv si.

Xaus lus

Qhov tiav ntawm qhov chaw tsis yog ib qho zoo nkauj ntawm cov yeeb nkab hlau tsis xeb - nws yog ib qho kev qhia ua haujlwm uas tswj hwm kev nqus dej noo, kev khaws cia cov khoom me me, thiab kev tawm pa tawm thoob plaws lub neej ntawm lub kaw lus roj. Qhov tiav ntawm qhov chaw du dua yog qhov yuav tsum tau ua kom tiav thiab tswj tau qib siab tshaj plaws ntawm kev ntshiab roj. Los ntawm kev teev qhov tiav zoo - electropolished rau UHP kev pabcuam, ci annealed lossis pickled thiab passivated rau cov ntawv thov tsawg dua - ua ke nrog cov khoom siv qis-tawm pa tawm xws li 316L VIM-VAR stainless hlau, thiab txhawb nqa nws nrog kev ntxuav, ci-tawm, thiab kev coj ua purging, cov engineers tuaj yeem tsim cov kab ke xa roj uas ua tau raws li cov hom phiaj huv tshaj plaws thiab khaws cia rau lub neej ntawm lub Hoobkas.