1. Lub Tshuab Siv Roj Loj Txhais:
Kev khaws cia thiab kev tswj siab ntawm cov pa roj inert Hom roj: Cov pa roj inert ib txwm muaj (nitrogen, argon, cua compressed, thiab lwm yam)
Qhov loj ntawm cov kav dej: Txij li 1/4 (kev saib xyuas cov kav dej) mus rau 12-nti cov kav dej loj
Cov khoom tseem ceeb ntawm lub kaw lus yog: diaphragm valve/bellows valve/ball valve, high-purity connector (VCR, welding form), ferrule connector, pressure regulating valve, pressure gauge, thiab lwm yam.
Tam sim no, lub kaw lus tshiab kuj suav nrog lub kaw lus roj tshwj xeeb, uas siv cov thoob roj ruaj khov lossis cov tsheb thauj khoom rau kev khaws cia thiab kev thauj mus los.
2. Lub Tshuab Ntxuav Cov Lus Txhais:
Kev tshem tawm cov khoom tsis huv ntawm cov pa roj loj rau cov kav dej roj huv siab
3. Cov Txee Roj Txhais:
Muab kev tswj siab thiab kev saib xyuas ntws rau cov chaw muaj roj tshwj xeeb (cov roj lom, cov roj kub hnyiab, cov roj ua xua, thiab cov roj ua rau lwj), thiab muaj peev xwm hloov cov thoob roj.
Qhov Chaw: Nyob rau hauv pem teb Sub-fab lossis hauv qab pem teb rau kev khaws cov pa roj tshwj xeeb Qhov chaw: NF3, SF6, WF6, thiab lwm yam.
Qhov loj ntawm cov kav dej: Cov kav dej roj sab hauv, feem ntau yog 1/4 nti rau cov kav dej ua haujlwm, 1/4-3/8 nti feem ntau yog rau cov kav dej nitrogen purge siab.
Cov khoom tseem ceeb: Cov twj tso kua mis diaphragm purity siab, cov twj tso kua mis kuaj xyuas, cov ntsuas siab, cov ntsuas siab, cov khoom sib txuas purity siab (VCR, daim ntawv vuam) Cov txee roj no feem ntau muaj cov peev xwm hloov pauv tsis siv neeg rau cov thooj voos kheej kheej kom ntseeg tau tias muaj roj txuas ntxiv mus thiab hloov pauv cov thooj voos kheej kheej kom muaj kev nyab xeeb.
4. Kev Txhais Txog Kev Faib Khoom:
Txuas lub qhov roj mus rau lub kauj sau roj
Qhov loj ntawm kab: Hauv lub Hoobkas ua cov chip, qhov loj ntawm cov kav dej faib roj feem ntau yog txij li 1/2 nti txog 2 nti.
Daim ntawv txuas: Cov kav dej roj tshwj xeeb feem ntau txuas los ntawm kev vuam, tsis muaj kev sib txuas tshuab lossis lwm qhov chaw txav mus los, feem ntau vim tias kev sib txuas vuam muaj kev ntseeg siab zoo.
Hauv lub Hoobkas ua cov chips, muaj ntau pua mais ntawm cov yeeb nkab txuas nrog rau cov roj xa tawm, uas feem ntau yog li 20 feet ntev thiab vuam ua ke. Qee qhov khoov yeeb nkab thiab kev sib txuas tubular vuam kuj yog qhov tshwm sim ntau heev.
5. Lub thawv valve ntau lub luag haujlwm (Valve Manifold Box, VMB) Cov Lus Txhais:
Nws yog los faib cov pa roj tshwj xeeb los ntawm qhov chaw roj mus rau ntau yam khoom siv sib txawv.
Qhov loj ntawm cov kav dej sab hauv: 1/4 nti cov kav dej ua haujlwm, thiab 1/4 - 3/8 nti cov kav dej ntxuav. Lub kaw lus yuav siv kev tswj hwm computer kom xav tau cov li qub ua haujlwm lossis cov xwm txheej pheej yig dua nrog cov li qub tes.
Cov khoom siv hauv lub kaw lus: cov twj tso kua mis diaphragm purity siab / cov twj tso kua mis bellows, cov twj tso kua mis kuaj xyuas, cov pob qij txha purity siab (VCR, daim ntawv micro-welding), cov twj tso kua mis tswj siab, cov ntsuas siab thiab cov ntsuas siab, thiab lwm yam. Rau kev faib tawm ntawm qee cov pa roj inert, Valve Manifold Panel - VMP (multi-function valve disc) feem ntau yog siv, uas muaj qhov qhib roj disc nto thiab tsis xav tau qhov chaw kaw thiab kev ntxuav nitrogen ntxiv.
6. Phaj/lub thawv valve thib ob (Cuab Yeej Txuas Vaj Huam Sib Luag) Cov Lus Txhais:
Txuas cov roj uas cov khoom siv semiconductor xav tau los ntawm qhov chaw roj mus rau qhov kawg ntawm cov khoom siv thiab muab kev tswj hwm siab sib xws. Lub vaj huam sib luag no yog lub kaw lus tswj roj uas nyob ze rau qhov kawg ntawm cov khoom siv dua li VMB (lub thawv ntau lub luag haujlwm).
Qhov loj ntawm cov kav dej roj: 1/4 - 3/8 nti
Cov kav dej kua loj: 1/2 - 1 nti
Qhov loj ntawm cov kav dej tawm: 1/2 - 1 nti
Cov khoom tseem ceeb: diaphragm valve/bellows valve, ib txoj kev valve, siab regulating valve, siab gauge, siab gauge, siab-purity sib koom ua ke (VCR, micro-welding), ferrule sib koom ua ke, pob valve, hose, thiab lwm yam.
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-22-2024